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温州自动氦质谱检漏仪售后服务

来源:上海睿德励柯仪器仪表有限公司 发布时间:2025年03月12日

氦检仪怎么选,这取决于客户的需求:应用类型:(例如:生产,维护等)-干式/传统的油泵?性能:(进入检漏模式所需要的时间,灵敏度,响应时间,恢复时间,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦检仪的性能衡量,主要是通过以下参数:初抽的能力:(m3/h),检测允许的较大进气口压力:(mbar),进入检测模式所需要的时间:(s),氦抽速:(l/s))灵敏度,较低可测的氦信号:(mbar.l/s),响应时间:(s),恢复时间:(s),初抽能力:将决定进入检测模式的时间)将决定是否只使用氦检仪进行检测就可以(是否需要辅助泵)。检测允许的较大进气口压力:〉将决定进入检测模式所需要的时间。进入检测模式所需要的时间:是由初抽能力和检测允许的较大压力共同决定的。其他可能会影响检测时间的参数:腔体的脱气以及非常大的泄漏。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器。温州自动氦质谱检漏仪售后服务

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氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。温州自动氦质谱检漏仪售后服务氦检仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度。

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随着汽车行业的迅猛发展,汽车空调行业对氦检的需求越来越大,对氦检的性能指标要求越来越高。氦检仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时,更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气,被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱与氦检仪检漏口相接。若被检工件有漏,则漏入真空箱的氦气可通过氦检仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置,在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用氦检仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏,还有冷凝罐的检漏,由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本,所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。

氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.不会受到主观因素判断的影响;4.检测的数据精确;5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。氢质谱检漏仪能为不同的应用提供不同的测试方法,含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面,以及可选功能组件。氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用。

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氦检仪灵敏度降低应该如何维护?当发现氦检仪的灵敏度降低,而氦检仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下:先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件,这里不能用粗砂纸,因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件;然后用航空汽油和无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意,分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热,否则可能导致磁铁退磁,使氦检仪的灵敏度降低。如果操作正确,经过清洗维护后的氦检仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。氦检仪整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。温州自动氦质谱检漏仪售后服务

氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。温州自动氦质谱检漏仪售后服务

氦检仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦检仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。氦检仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦检仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用。氦检仪质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不只解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。温州自动氦质谱检漏仪售后服务

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